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공지사항
⊙ AFC는 반도체 제조 공정에 사용되는 약액의 유량을 학습기능을 적용하여 빠르고 정확하게 제어하여
공정의 정밀도를 향상시킵니다.
Power
DC 24V, 3000mA
Input Channel
6 Channel (0~5V, 0~20mA)
Output Channel
6 Channel (0~10V)
Interface
RS422
Dimension (W x D x H)
50 x 110 x 192mm
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